Optische Verarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP3355117 Art A1 1. August 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3355117
Aktenzeichen: EP17205648
Anmeldetag: 6. Dezember 2017
Veröffentlichung: 1. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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