Schnittstellenvorrichtung, Schnittstelleneinheit, Sondenvorrichtung und Verbindungsverfahren

EP3355344 Art A1 1. August 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3355344
Aktenzeichen: EP16848413
Anmeldetag: 5. August 2016
Veröffentlichung: 1. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01R13/631G01R1/04G01R31/28G01R1/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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