Epitaktisches Wachstum von Defektfreiem, Einschichtigem Graphen im Wafermassstab auf Dünnen Kobaltschichten

EP3356582 Art B1 16. Dezember 2020

Anmelder: GlobalWafers Co., Ltd., The Board of Trustees of the University of Illinois, SunEdison Semiconductor Limited 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3356582
Aktenzeichen
EP16784623
Anmeldetag
28. September 2016
Veröffentlichung
16. Dezember 2020
Erteilung
16. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/18C30B29/02H01L29/16C01B32/184
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
GlobalWafers Co., Ltd.
The Board of Trustees of the University of Illinois
SunEdison Semiconductor Limited
Land
🇹🇼 Taiwan
🇺🇸 Board of Trustees of the University of Illinois

Aufsichtsgremium der University of Illinois, USA, über das Patente aus der universitären Forschung verwaltet werden.

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