Gasverteilelement für den Einsatz in der Halbleiterfertigung sowie Verfahren zur Herstellung eines Gasverteilelements

EP3357879 Art A1 8. August 2018

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3357879
Aktenzeichen
EP17154977
Anmeldetag
7. Februar 2017
Veröffentlichung
8. August 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C03C15/00C03C23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt Hanau, Deutschland

Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.

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