Produktionssystem

EP3358611 Art B1 26. August 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3358611
Aktenzeichen: EP16851598
Anmeldetag: 28. September 2016
Veröffentlichung: 26. August 2020
Erteilung: 26. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677B65G49/00G03F7/20H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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