Verfahren und Vorrichtung zur Strahlanalyse
EP3359928
Art B9
12. Mai 2021
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3359928
- Aktenzeichen
- EP16785380
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2021
- Erteilung
- 12. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J1/42G01J1/04G02B27/10B23K26/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte