Elektronenstrahllithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einer Zerbrechlichen Nanostruktur

EP3364248 Art A1 22. August 2018

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Université Pierre et Marie Curie (Paris 6) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3364248
Aktenzeichen: EP17305169
Anmeldetag: 15. Februar 2017
Veröffentlichung: 22. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B82Y40/00G02B21/00G01N21/64G03F9/00H01J37/317H01J37/26

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Abstract

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Anmelder

Firmen: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Université Pierre et Marie Curie (Paris 6)
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Pierre et Marie Curie (Paris 6)

Ehemalige französische Universität für Natur- und Lebenswissenschaften in Paris, seit 2018 in der Sorbonne Université aufgegangen. Patente stammen aus universitärer Forschung in Physik, Chemie und Biologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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