Adaptiertes Optisches Lithografieverfahren für eine Probe mit mindestens einem Zerbrechlichen Lichtemitter

EP3364249 Art A1 22. August 2018

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Université Pierre et Marie Curie (Paris 6) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3364249
Aktenzeichen: EP17305170
Anmeldetag: 15. Februar 2017
Veröffentlichung: 22. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02F1/29G02B21/00G01N21/64G02B21/06G02B27/09H01L33/06B82Y20/00G03F9/00

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Université Pierre et Marie Curie (Paris 6)
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Pierre et Marie Curie (Paris 6)

Ehemalige französische Universität für Natur- und Lebenswissenschaften in Paris, seit 2018 in der Sorbonne Université aufgegangen. Patente stammen aus universitärer Forschung in Physik, Chemie und Biologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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