Verfahren zur Analyse eines Objekts und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zur Durchführung Dieses Verfahrens
EP3364443
Art B9
20. Juli 2022
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3364443
- Aktenzeichen
- EP18156559
- Anmeldetag
- 13. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 20. Juli 2022
- Erteilung
- 20. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
90
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte