Vorrichtung und System für Vakuumabscheidung auf ein Substrat und Verfahren zur Vakuumabscheidung auf ein Substrat

EP3365475 Art A1 29. August 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3365475
Aktenzeichen: EP16721392
Anmeldetag: 28. April 2016
Veröffentlichung: 29. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/54H01L21/67H01L21/677C23C14/35C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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