Vorrichtung und Verfahren zum Laden eines Substrats in ein Vakuumverarbeitungsmodul, Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung eines Substrats für einen Vakuumabscheidungsprozess in einem Vakuumverarbeitungsmodul und System zur Vakuumverarbeitung eines Substrats

EP3365911 Art A1 29. August 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3365911
Aktenzeichen: EP16860416
Anmeldetag: 28. April 2016
Veröffentlichung: 29. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683C23C14/56C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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