Vorspannbarer Flussoptimierer/kollimator für Pvd-Sputterkammer

EP3369108 Art B1 4. August 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3369108
Aktenzeichen: EP16860473
Anmeldetag: 27. September 2016
Veröffentlichung: 4. August 2021
Erteilung: 4. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/768C23C14/16H01J37/34H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von