Pellikel für Photomask, Retikel Beinhaltend des Selbigen und Belichtungsvorrichtung für Lithographie

EP3373069 Art B1 4. September 2024

Anmelder: Samsung Electronics Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3373069
Aktenzeichen
EP17203361
Anmeldetag
23. November 2017
Veröffentlichung
4. September 2024
Erteilung
4. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/62
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Samsung Electronics Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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