System zum Zuführen von mehreren Reaktiven Prozessgasen zu einer Verarbeitungsstelle eines Teilchenstrahlgeräts
EP3373323
Art B1
30. Dezember 2020
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3373323
- Aktenzeichen
- EP18165410
- Anmeldetag
- 23. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 30. Dezember 2020
- Erteilung
- 30. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01J37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Diehl & Partner
Diehl & Partner · München
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Diehl & Partner GbR
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