Vorrichtung zur Photomaskenrückseitenreinigung

EP3377941 Art B1 24. Juni 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3377941
Aktenzeichen: EP16866881
Anmeldetag: 10. November 2016
Veröffentlichung: 24. Juni 2020
Erteilung: 24. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/82G03F7/20H01L21/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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