Verfahren zur Bestimmung eines Überlagerungsfehlers, Herstellungsverfahren und System zur Herstellung eines Mehrschichtigen Halbleiterbauelements und Dadurch Hergestelltes Halbleiterbauelement

EP3378092 Art A1 26. September 2018

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3378092
Aktenzeichen: EP16809544
Anmeldetag: 17. November 2016
Veröffentlichung: 26. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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