Verfahren zum Selektiven Ätzen von P-Dotiertem Polysilicium Relativ zu Siliciumnitrid

EP3381046 Art B1 28. Dezember 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3381046
Aktenzeichen
EP16869167
Anmeldetag
22. November 2016
Veröffentlichung
28. Dezember 2022
Erteilung
28. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213C09K13/08H01L29/66// H01L29/49H01L29/51
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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