Bilderfassungselement, Messvorrichtung und Messverfahren

EP3382375 Art B1 26. Mai 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3382375
Aktenzeichen: EP16866442
Anmeldetag: 18. November 2016
Veröffentlichung: 26. Mai 2021
Erteilung: 26. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/17A61B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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