Mikroskop, Betrachtungsverfahren und Steuerungsprogramm

EP3382441 Art A1 3. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3382441
Aktenzeichen
EP15909326
Anmeldetag
27. November 2015
Veröffentlichung
3. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/06G01N21/64H04N5/225G02B21/08G02B21/12G02B21/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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