Reinigungszusammensetzung zum Einsatz nach einer Chemisch-Mechanischen Polierung mit einer Spezifischen Schwefelhaltigen Verbindung
EP3385363
Art B1
16. März 2022
Anmelder: BASF SE, BASF Schweiz AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3385363
- Aktenzeichen
- EP18169062
- Anmeldetag
- 24. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 16. März 2022
- Erteilung
- 16. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D3/20C11D3/37C11D11/00C11D3/34H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- BASF SE
BASF Schweiz AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
BASF
Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.
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Vertreten von
-
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