Steuerungsverfahren und Vorspannungsversorgung für ein Plasmaimmersions-Ionenimplanter

EP3387666 Art B1 2. September 2020

Anmelder: Ion Beam Services 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3387666
Aktenzeichen
EP16825798
Anmeldetag
5. Dezember 2016
Veröffentlichung
2. September 2020
Erteilung
2. September 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C14/48H01L21/223
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ion Beam Services
Land
🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Renaud-Goud, Thierry Aix-en-Provence, Frankreich
164
Patente gesamt
30
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Luft- & Raumfahrttechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Verfahrens- & Trenntechnik
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