Verfahren zur Herstellung eines Seitenwandoxidabstandshalters aus Polysilicium in einer Speicherzelle

EP3387669 Art A1 17. Oktober 2018

Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3387669
Aktenzeichen
EP16820470
Anmeldetag
12. Dezember 2016
Veröffentlichung
17. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L21/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Microchip Technology Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Microchip Technology

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.

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