Mehrschichtfilmreflektor und Röntgenstrahlexpositionssystem

EP3389056 Art A1 17. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3389056
Aktenzeichen: EP18168175
Anmeldetag: 24. Mai 2004
Veröffentlichung: 17. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

Vertreten von