Membrananordnung

EP3391140 Art A1 24. Oktober 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3391140
Aktenzeichen: EP16805144
Anmeldetag: 2. Dezember 2016
Veröffentlichung: 24. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/64G03F1/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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