Verfahren zur Herstellung einer Monokristallinen Piezoelektrischen Schicht und Mikroelektronische, Fotonische oder Optische Vorrichtung mit Solch einer Schicht

EP3394323 Art A1 31. Oktober 2018

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3394323
Aktenzeichen
EP16819091
Anmeldetag
21. Dezember 2016
Veröffentlichung
31. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/18C30B29/22H01L21/762H01L41/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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