Röntgenstrahlenerzeugendes Gerät, Strukturherstellungsverfahren und Strukturherstellungssystem

EP3396697 Art B1 17. Juli 2024

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3396697
Aktenzeichen: EP15911415
Anmeldetag: 25. Dezember 2015
Veröffentlichung: 17. Juli 2024
Erteilung: 17. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J35/16H01J35/08H01J35/10H01J1/92H01J9/42H01J1/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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