Kobalthaltige Filmbildende Zusammensetzungen, deren Synthese und Verwendung in der Filmabscheidung

EP3397790 Art B1 9. August 2023

Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3397790
Aktenzeichen
EP16856458
Anmeldetag
12. Dezember 2016
Veröffentlichung
9. August 2023
Erteilung
9. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/34C23C16/42C23C16/448C23C16/455H01L21/28// H01L21/768H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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