Polierverfahren für ein Substrat mit Niedriger Elektrizitätskonstante

EP3400266 Art B1 24. August 2022

Anmelder: CMC Materials, Inc., Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3400266
Aktenzeichen: EP17736379
Anmeldetag: 6. Januar 2017
Veröffentlichung: 24. August 2022
Erteilung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14C09G1/02H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CMC Materials, Inc.
Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von