Dampfabscheidung von Siliciumhaltigen Filmen unter Verwendung Penta-Substituierter Disilane

EP3400607 Art A2 14. November 2018

Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3400607
Aktenzeichen
EP16881337
Anmeldetag
16. Dezember 2016
Veröffentlichung
14. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/314H01L21/316H01L21/318H01L21/3205H01L21/205C23C16/32C23C16/34C23C16/36C23C16/40C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik
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