Kapazitiver Feuchtigkeitssensor und Dazugehöriges Herstellungsverfahren
Anmelder: Sciosense B.V., ams International AG 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3401674
- Aktenzeichen
- EP17170184
- Anmeldetag
- 9. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 15. Juli 2020
- Erteilung
- 15. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N27/22
Abstract
A sensor semiconductor device (10) comprises a transducer (11) which comprises a capacitor (12) with at least two electrodes (13). The transducer (11) further comprises a polymer (14) which is arranged between at least two electrodes (13) of the capacitor (12), and a top surface (15) of the transducer (11). The polymer (14) is able to absorb water and the top surface (15) is arranged such that it is exposed to the environment of the sensor semiconductor device (10). Furthermore, at least a part of the top surface (15) is superhydrophobic, for example by structuring it, and the sensor semiconductor device (10) is capable of measuring the humidity of the environment of the sensor semiconductor device (10).
Anmelder
- Firmen
- Sciosense B.V.
ams International AG - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Ams International ist die schweizerische Konzerneinheit von ams OSRAM, einem Hersteller von Sensoren und optischen Halbleiterkomponenten. Der Anmelder konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik, Nachrichtentechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2009 bis in die Gegenwart.
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