Verfahren zur Strukturierung einer Zielschicht

EP3401948 Art B1 11. Dezember 2019

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3401948
Aktenzeichen: EP17170339
Anmeldetag: 10. Mai 2017
Veröffentlichung: 11. Dezember 2019
Erteilung: 11. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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