Halteanordnung zum Halten eines Substrats, Träger zum Tragen eines Substrats, Vakuumbehandlungsanlage, Verfahren zum Halten eines Substrats und Verfahren zur Freisetzung eines Substrats

EP3402908 Art A1 21. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3402908
Aktenzeichen: EP16700371
Anmeldetag: 13. Januar 2016
Veröffentlichung: 21. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50B23Q3/08B65G49/06C03C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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