Optisches Inspektionssystem, Verarbeitungssystem zur Verarbeitung eines Materials auf einem Flexiblen Substrat und Verfahren zur Inspektion eines Flexiblen Substrats

EP3403076 Art A1 21. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3403076
Aktenzeichen: EP16700762
Anmeldetag: 15. Januar 2016
Veröffentlichung: 21. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/89C23C14/54G01N21/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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