Verfahren zur Herstellung einer Kohlenstoffnanoröhrchenpellikelmembran

EP3404487 Art B1 1. Dezember 2021

Anmelder: IMEC vzw, IMEC USA NANOELECTRONICS DESIGN CENTER, Inc. 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3404487
Aktenzeichen
EP17171172
Anmeldetag
15. Mai 2017
Veröffentlichung
1. Dezember 2021
Erteilung
1. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/62
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC vzw
IMEC USA NANOELECTRONICS DESIGN CENTER, Inc.
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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