Verfahren zur Herstellung einer Kohlenstoffnanoröhrchenpellikelmembran
EP3404487
Art B1
1. Dezember 2021
Anmelder: IMEC vzw, IMEC USA NANOELECTRONICS DESIGN CENTER, Inc. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3404487
- Aktenzeichen
- EP17171172
- Anmeldetag
- 15. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2021
- Erteilung
- 1. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC vzw
IMEC USA NANOELECTRONICS DESIGN CENTER, Inc. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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