Vorrichtung und Verfahren zum Bilden von Mustern
Anmelder: TOTAL SE, Ecole Polytechnique, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Total SA 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3404693
- Aktenzeichen
- EP17305586
- Anmeldetag
- 19. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 13. November 2019
- Erteilung
- 13. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C14/04C23C16/04H01L21/266H01L21/311H01L21/3213
Abstract
An apparatus for patterned processing comprises a source of input gas (2), a source of energy suitable for generating a plasma from the input gas (2) in a plasma region and a grounded sample holder (12) configured for receiving a solid sample (5). According to the invention, the apparatus comprises a mask (4) arranged between the plasma region and the grounded sample holder (12), the mask (4) having a first face (45) oriented toward the plasma region and a second face (46) oriented toward a surface (51) of the solid sample (5) to be processed, the mask (4) comprising a mask opening (40) extending from the first face to the second face, and an electrical power supply (16) adapted for applying a direct-current bias voltage to the mask, and the mask opening (40) being dimensioned and shaped so as to generate spatially selective patterned processing on the surface (51) of the solid sample (5).
Anmelder
- Firmen
- TOTAL SE
Ecole Polytechnique
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Total SA - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Total ist ein französischer Energiekonzern mit Sitz in Paris, der heute unter dem Namen TotalEnergies firmiert und in der Öl-, Gas- und Energiebranche tätig ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Bergbau- und Bohrtechnik, ergänzt um Verfahrenstechnik und Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Die Ecole Polytechnique ist eine französische Ingenieurhochschule bei Paris mit starker naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Elektronik, Metallurgie und Optik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis in die Gegenwart, unter anderem zu Photovoltaik.
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Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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