Verfahren zur Definition eines Kanalbereichs in einer Vertikalen Transistorvorrichtung

EP3404701 Art A1 21. November 2018

Anmelder: IMEC vzw, Vrije Universiteit Brussel 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3404701
Aktenzeichen: EP17171130
Anmeldetag: 15. Mai 2017
Veröffentlichung: 21. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/336H01L21/8238H01L29/78H01L29/786H01L27/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Vrije Universiteit Brussel
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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🇧🇪 Vrije Universiteit Brussel

Die Vrije Universiteit Brussel ist eine niederländischsprachige Universität in Brüssel, Belgien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Pharma. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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