Verfahren zur Herstellung Vertikaler Kanalvorrichtungen

EP3404702 Art A1 21. November 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3404702
Aktenzeichen: EP17171134
Anmeldetag: 15. Mai 2017
Veröffentlichung: 21. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/336H01L21/768H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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