Verfahren zur Herstellung von Verbundenen Vertikalen Kanalvorrichtungen und Halbleiterstruktur

EP3404707 Art A1 21. November 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3404707
Aktenzeichen
EP17171135
Anmeldetag
15. Mai 2017
Veröffentlichung
21. November 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8234H01L21/8238H01L27/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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