Vorrichtung zum Transport eines Substratträgers in einer Vakuumkammer, System zur Vakuumverarbeitung eines Substrats und Verfahren zum Transport eines Substratträgers in einer Vakuumkammer

EP3405973 Art A1 28. November 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3405973
Aktenzeichen: EP16700975
Anmeldetag: 18. Januar 2016
Veröffentlichung: 28. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677C23C14/35C23C14/50C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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