Rückstandsentfernung aus Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis

EP3408707 Art B1 16. Juli 2025

Anmelder: Bruker Nano, Inc., Rave LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3408707
Aktenzeichen
EP17744875
Anmeldetag
26. Januar 2017
Veröffentlichung
16. Juli 2025
Erteilung
16. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/82G03F7/00G01Q70/12B08B1/00B08B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Bruker Nano, Inc.
Rave LLC
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Bell, Mark La Gaude, Frankreich
270
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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