Steuerung einer Mischkonzentration

EP3409347 Art B1 17. Juni 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3409347
Aktenzeichen
EP18167612
Anmeldetag
15. November 2013
Veröffentlichung
17. Juni 2020
Erteilung
17. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B01F15/04B01F15/00G05D11/13
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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