Copolymer, Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur
EP3409700
Art B1
2. Februar 2022
Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3409700
- Aktenzeichen
- EP17744100
- Anmeldetag
- 20. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2022
- Erteilung
- 2. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08F212/12C08F220/22G03F7/039C09D125/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Zeon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Zeon
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.
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