Copolymer, Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP3409700 Art B1 2. Februar 2022

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3409700
Aktenzeichen
EP17744100
Anmeldetag
20. Januar 2017
Veröffentlichung
2. Februar 2022
Erteilung
2. Februar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C08F212/12C08F220/22G03F7/039C09D125/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Zeon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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