Mems zur Lenkung von Spiegeln für Anwendungen in Photonischen Integrierten Schaltungen

EP3410166 Art B1 2. Juli 2025

Anmelder: Google LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3410166
Aktenzeichen: EP18166654
Anmeldetag: 10. April 2018
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Erteilung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/42G02B6/12G02B6/293

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Google LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Google

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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