Gestaltung von Fotomaskenrohling und Fotomaskenrohling

EP3410207 Art B1 6. November 2019

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3410207
Aktenzeichen
EP18183932
Anmeldetag
15. Juli 2015
Veröffentlichung
6. November 2019
Erteilung
6. November 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/50G03F1/38G03F1/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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