Hybride Maske für Tiefätzen

EP3411899 Art A1 12. Dezember 2018

Anmelder: King Abdullah University of Science and Technology 🇸🇦

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3411899
Aktenzeichen
EP17703800
Anmeldetag
26. Januar 2017
Veröffentlichung
12. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/308H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
King Abdullah University of Science and Technology
Land
🇸🇦 Saudi-Arabien
🇸🇦 KAUST

Saudi-arabische Forschungsuniversität in Thuwal am Roten Meer, gegründet 2009, mit Schwerpunkten in Ingenieurwissenschaften, Materialforschung und angewandten Naturwissenschaften.

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