Neue Chlorsilylarylgermane, Verfahren zu deren Herstellung und deren Verwendung

EP3413334 Art B1 9. September 2020

Anmelder: Evonik Operations GmbH, Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3413334
Aktenzeichen: EP17197538
Anmeldetag: 1. Juni 2017
Veröffentlichung: 9. September 2020
Erteilung: 9. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Evonik Operations GmbH
Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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