Verfahren zum Betrieb einer Abscheidungsvorrichtung und Abscheidungsvorrichtung

EP3417085 Art A1 26. Dezember 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3417085
Aktenzeichen: EP16721809
Anmeldetag: 10. Mai 2016
Veröffentlichung: 26. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/04C23C16/44C23C16/455C23C14/56H01L51/56H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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