Probenzubereitungsverfahren und Probenzubereitungsvorrichtung

EP3418710 Art B1 24. August 2022

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3418710
Aktenzeichen
EP16890587
Anmeldetag
19. Februar 2016
Veröffentlichung
24. August 2022
Erteilung
24. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/42G01N1/44G01N1/30G02B21/00G02B21/06G02B21/36// G01N23/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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