Verfahren zur Strukturierung einer Zielschicht

EP3419047 Art A1 26. Dezember 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3419047
Aktenzeichen: EP17177328
Anmeldetag: 22. Juni 2017
Veröffentlichung: 26. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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