Verfahren zur Abscheidung einer in Situ-Beschichtung auf Thermisch und Chemisch Beanspruchten Bauteilen eines Wirbelschichtreaktors zur Herstellung von Hochreinem Polysilicium

EP3420116 Art B1 4. September 2019

Anmelder: Wacker Chemie AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3420116
Aktenzeichen
EP17707518
Anmeldetag
23. Februar 2017
Veröffentlichung
4. September 2019
Erteilung
4. September 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/24C23C16/32C23C16/34C23C16/44C23C16/442C01B33/03
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Wacker Chemie AG
Land
🇩🇪 Deutschland

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